Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
PZT thin films were processed by sol gel method on Pt electrodes on Si/SiO2 wafer. Microstructure and orientation of PZT thin films depend on the quality of bottom Pt electrodes. The Pt electrodes were deposited by evaporation or RF-sputtering. Three multilayers were investigated: (Si/SiO2/Ti/Pt/Au/Pt), (Si/SiO2/Ti/Pt) and (Si/SiO2/Ta/Pt). Even though the Pt bottom electrodes were oriented along the...
One of the critical steps toward producing void-free and uniform bottom-up copper electroplating in high aspect-ratio (AR) through-silicon vias (TSVs) is the ability of the copper electrolyte to spontaneously flow through the entire depth of the via. This can be accomplished by reducing the concentration gradient of cupric ions from the via mouth to the via bottom by enhancing the wettability of the...
MEMS electron-transparent membranes made of low-stress silicon nitride are widely employed in electron microscopy. However, this material has limited resistance to electron beams. We therefore developed a layer of LPCVD SiC. Our layer is amorphous, uniform, continuous, low-stress, and has extremely low etch-rates in common wet etchants. As free-standing electron transparent window, it demonstrates...
This paper presents a new concept of nano particle filtration module for lab-on-a-chip devices. This module is a perforated wall structure placed between two lateral fluid channels. Nanometer wide slots embedded in the wall connect both channels and allow only nano particles to flow through. By changing fabrication parameters, those highly uniformed nano slots can be adjusted from <100 nm to 2...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.