Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In this paper, fully coupled electro-thermal simulation of a micro pirani gauge is presented. The simulation was carried out using CFD-ACE+ software, based on Finite Volume Method (FVM) for multi-disciplinary modeling. Temperature coefficient of resistance (TCR) of silicon was taken into account for solving the joule heating and heat transfer equations. The influence of physical parameters on the...
In this paper, a very simple micro vacuum pirani gauge made of single crystal silicon is presented. It was fabricated by standard bulk micromachining with only three masks. The high aspect ratio structure of the pirani gauge has large efficient gaseous heat transfer area, thus can increase the sensitivity of the pirani gauge. The dynamic range of the pirani gauge is 2 Pa to 400 Pa which should be...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.