Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
By leveraging on the wealth of Si-CMOS technology know-how and the largely available infrastructures, the fundamental photonic device building blocks and circuit integration platform, essential for the realization of the electronic-photonic integrated circuit (EPIC), have been successfully developed. This presentation gives an overview on the current status of this critical technology and provides...
A silicon waveguide based splitter is a key device for polarization diversity circuit. A bilayer waveguide structure was proposed by MIT to split the input light into its orthogonal components. It is challenging to fabricate a bilayer silicon waveguide by the conventional two-step-etching process due to precise alignment and accurate etch thickness required. In addition, the partial etched waveguide...
A microwave re-entrant cavity is applied to create a miniature beam of plasma species. A miniature microwave plasma discharge is created using 2.45 GHz microwave energy to generate a discharge inside 1-2 mm inner diameter (i.d.) tubes with a micromachined aperture on the end. Through this aperture the plasma stream for materials processing is formed. The diameter of the plasma stream considered in...
We report the first detailed characterization, to the best of our knowledge, of wavelength dependence of two-photon absorption and the Kerr nonlinearity in silicon over a spectral range extending from 1.2 to 2.4 mum.
Summary form only given. Miniature discharges and their potential use for local area materials processing including etching, surface activation, and plasma-assisted CVD are investigated in this study. The objective of this study is to do materials etching steps on localized areas by applying a small discharge to only the region being processed. A miniature microwave plasma discharge applicator design...
Summary form only given. Miniature discharges and their potential use for local area materials processing are investigated in this study. The objective of this study is to do materials processing steps including etching, surface activation, and plasma-assisted CVD on localized areas by applying a small discharge to only the region being processed. A miniature microwave plasma discharge applicator...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.