Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Many micro-electromechanical devices have been developed for application in mechanical sensors and actuators, RF devices and telecommunication electronics [1]-[3]. One important application of surface micromachined mechanical resonators, in a wide variety of geometrical configurations, is in beam and comb resonators. MEMS based resonators and filters operating at RF frequencies have been demonstrated...
This paper presents the study of silicon wafer modification by two-beam laser interference. In the work, two-beam laser interference was used to pattern single crystal silicon wafers for the fabrication of gratings, and different laser faiences and pulses were applied to the process in the air. The results were obtained from single laser pulse exposures with the laser fiuences of 637mJ/cm2, 780mJ/cm...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.