Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In this paper, we propose a polymer MEMS mirror device which has the futures of the large deflection angle and the low cost fabrication. Many conventional MEMS mirror devices have been composed of Si wafer and, the expensive dry etching equipment has been necessary when etching the Si substrate. Then, we propose new composition and the novel fabrication method without the dry etching process by using...
This paper presents two types of low cost mirror devices composed of the glass and the polymer material. These devices are new constructions composed of the inexpensive glass as the mirror substrate and the polymer as the torsion hinge. The devices can be fabricated by the photolithography and wet etching processes without deep-RIE process. The proposed one construction is the Lorentz force type mirror...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.