Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Diamond-like carbon (DLC) films using various inert gases, He, Ne, Ar-methane mixture were deposited by a magnetically enhanced plasma chemical vapor deposition (CVD). The deposition rates and mechanical properties in terms of stress, hardness and Young's modulus of the DLC films under various substrate bias voltage and inert-gas/methane ratios were studied. At a fixed inert-gas/methane ratio (10%),...
A magnetically enhanced plasma chemical vapor deposition (MEPCVD) system has been developed for the deposition of DLC film without deterioration of the film quality. A perpendicular magnetic field (B) to the electric field was applied in the RF capacitively coupled plasma enhanced (PE) CVD system. Significantly higher levels of ionization are achieved in the MEPCVD system, resulting in much lower...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.