Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
We studied zirconium nitride layers prepared by reactive direct current (dc) magnetron sputtering and synthesized with nitrogen gas flow ranging from 1 to 9sccm (standard centimeter cube per minute) N 2 . We measured their electrical resistivity and recorded their X-ray diffraction patterns as well as their RBS spectra and optical reflectance curves. Thus we could determine their crystallographic...
Non-stoichiometric dc magnetron-sputtered ZrN films on silicon have been optically and electrically characterized through spectral reflectance measurements and a four-probe method, respectively. The deposition of the films was monitored by the nitrogen gas flow which has been increased from 1 to 11sccm. Experimental results show that the reflectivity as well as the electrical resistivity strongly...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.