Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
An aluminum-nitride (AlN) based energy-harvesting MEMS sensor is developed. We aimed at realizing energy-harvesting sensor with functional feature of wide-band response at low-frequency vibration domain, owing to the high-power density of vibration sources energy in a particular low frequency with several Hz deviations. By simplifying and analyzing the vibration module of the sensor structure, a special...
We demonstrated a wireless vibration sensing system powered by a piezoelectric vibration energy harvester (VEH). The VEH with an AlN piezoelectric film was fabricated using a standard semiconductor micro electric mechanical system technology. Vibration with >0.45 m/s2 acceleration was applied to the VEH and a 40 bit payload was successfully sent using 920 MHz wireless communication technology driven...
The super-harmonic effect has been studied using a piezoelectric micro-cantilever with a proof mass. The fabricated prototype device, comprised with a multilayer of Pt/Ti/PZT/Pt/Ti/SiO2 deposited on a silicon-on-insulator (SOI) wafer, has been measured to have an eigenstate frequency of around 816 Hz. The driven frequencies of 204, 272, 409 and 816 Hz have been then converted into the resonant one...
A piezoelectric MEMS energy harvester (EH) with low resonant frequency and wide operation bandwidth was designed, microfabricated, and characterized. The MEMS piezoelectric energy harvesting cantilever consists of a silicon beam integrated with piezoelectric thin film (PZT) elements parallel-arranged on top and a silicon proof mass resulting in a low resonant frequency of 36 Hz. The whole chip was...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.