Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Polycrystalline Si (poly-Si) thin-film is widely used in optical MEMS/NEMS devices. However, the device performance depends on the crystallized structure in the poly-Si thin-film. We performed metal-induced lateral crystallization (MILC) to design the positions of grain boundaries in the poly-Si thin-film. Thin-film cantilever resonators were fabricated to discuss how grain boundaries affect the oscillation...
A spatial light modulator (SLM) was fabricated with a poly-Si film that was obtained by metal-induced lateral crystallization (MILC) using Ni nanoparticles synthesized within cage-shaped protein molecules. The MILC increased crystallinity and increased residual tensile stress in the Si film. The large tensile stress generated hard spring effect in the SLM device to expand the actuation range of the...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.