Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
CMOS-MEMS probes have the ability to interact with external surfaces mechanically and electrically through their conductive tips. Using only the electrothermal actuator of the probe, micro-Newton forces can be applied to make active probe contact with a conductive substrate. Measured cyclic contact resistance has a mean value of 7.4 kΩ and a standard deviation of 11.3 kΩ over 2450 cycles. When the...
We report on a new 3-DOF CMOS-MEMS electrothermal probe, featuring embedded piezoresistive sensors. These probes have the potential to be used independently for general 3-DOF nanoscale manipulation/manufacturing/scanning without external actuation and sensing. In this probe design, 3-DOF piezoresistive sensors are used to track probe actuation and applied force in all three directions, and thermal...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.