Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In order to solve the vibration during the process of transferring wafers and achieve the purpose of transferring wafers accurately and stably, the wafer transfer robot dynamic model was modelled and the strategy of vibration suppression based on input shaping was proposed. Based on the characteristics of wafer transfer robot, ZV input shaper and skewed shaper was designed to solve the single axis's...
During the processing of wafer, in order to avoid the friction between wafer and wafer box, and to guarantee the clean state of the working environment simultaneously, small contour error and little vibration are required for wafer transfer robot to deliver wafer, i.e., to achieve stable and accurate trajectory for wafer delivery. To lessen contour error, suppress vibration, a kind of control algorithm...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.