Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
High-density inductively coupled plasma sources (ICPs have attracted many interests for several years due to their excellent characteristics in semiconductor manufacturing [1]. Capacitively coupled plasma sources (CCPs) conventionally used in semiconductor manufacturing have advantages for energy control of incident ions and uniformity. In 1990s, a system combined ICPs and CCPs was invented by Applied...
There are increasing demands for nano-scale plasma processing such as nano-particle generation, oxide etching, and high quality thin film deposition as the microelectronics industry grows rapidly. Under very low-pressure condition (up to a few mTorr), it is difficult to generate and maintain plasmas, and therefore it is important to understand the properties of neutral gas flow together. In this study,...
Recently, atmospheric pressure micro plasmas attract lots of interests for the useful applications such as surface modification and bio-medical treatment. Among many plasma devices, a dielectric barrier discharge (DBD) is conventionally used for the simplest device which can sustain glow discharge with a short gap length. However, experimental diagnostics of micro DBDs are limited for spatio-temporal...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.