Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
We have improved electrical characteristics of a film bulk acoustic wave (BAW) resonator that features the injection of H 2 O gas into a process chamber. The preferred crystallinity of piezoelectric ZnO film was obtained by RF sputtering at a high H 2 O partial pressure 1.5×10 −4 Pa. The effective electromechanical coupling coefficient (kteff2) of the BAW resonator remarkably...
Crystallinity of ZnO thin film for film bulk acoustic wave (BAW) resonator has been successfully improved by using Pt/Al bottom electrode. The lattice mismatch of ZnO c-plane and Pt (111) plane is as small as 1.4% so that we could obtain good crystallinity ZnO film on Pt surface. The effective electromechanical coupling coefficient (kt eff2 ) of the BAW resonator that we fabricated...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.