Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Boron delta-doped multilayers are potential reference materials for the evaluation of depth resolution in secondary ion mass spectrometry (SIMS). In this work, we studied extraction of depth resolution parameters using a theoretical model, mixing-roughness-information (MRI) depth model from the measured profiles under various O 2+ bombardment conditions. Specimens used were boron delta-doped...
We have developed the first ever low-energy, high-dosage boron ion implantation technology using a decaborane (B/sub 10/H/sub 14/) molecule. Since B/sub 10/H/sub 14/ consists of ten boron atoms, they are implanted with about a one-tenth lower effective acceleration energy and a ten times higher effective beam current compared with those of boron. Using this implantation, we achieved an ultra-shallow...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.