Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In this paper, we firstly present a MEMS (micro-electromechanical systems) piezoelectric in-plane resonant accelerometer with two-stage microleverage mechanism. Double ended tuning fork (DETF) resonators are actuated and sensed by piezoelectric transduction with aluminum nitride (AlN). A configuration with centrosymmetrically-distributed DETF resonators and two-stage microleverage mechanisms are proposed...
The development of wireless energy transfer is critical to the promotion of implantable medical devices (IMDs). In this paper, an aluminum nitride (AlN) based piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT) array is designed, fabricated and characterized, which can be a potential power supply for IMDs. The pMUT array is ideally suitable for integration with wireless-powered system since it...
In this paper, we firstly present a MEMS (microelectromechanical systems) piezoelectric in-plane resonant accelerometer with two-stage micro-leverage mechanism. Double ended tuning fork (DETF) resonators are actuated and sensed by piezoelectric transduction with aluminum nitride (AlN). Optimized configuration of DETF resonators and two-stage micro-leverage mechanism are proposed to enhance sensitivity...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.