Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
A significant reduction of the intrinsic surface roughness of nanocrystalline diamond (NCD) layers (e.g., from 25–50 nm down to ≈ 2–6 nm) is accomplished together with an adjustment of the film thickness applying a two‐step planarization process. Therefore, a spin‐on‐glass (SOG), consisting of the inorganic polymer perhydropolysilazane, is spin‐coated on top of the NCD layer. After baking, a smooth...
Smoothened Nanocrystalline Diamond SurfaceA planarization of nanocrystalline diamond (NCD) films utilizing spin‐on‐glass (SOG) consisting of perhydropolysilazane and subsequent O2/SF6 plasma etching leads to a significant surface roughness reduction. The scattering effects during e‐beam lithography are minimized and the quality of the fabricated nanostructures (nanopillars and photonic crystals) is...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.