Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Sputtered titanium nitride (TiN) with a novel N 2 ratio adjustment and rapid thermal annealing (RTA) treatment are proposed in order to optimize pH sensing performance of electrolyte-insulator-semiconductor (EIS) structure. Selection of this methodology, which can be easily applied into standard CMOS and DRAM technology, results from the fact that TiN is a well-verified material as a buffer...
A niobium oxide (NbOx) layer is firstly investigated as a pH sensing membrane in single-layer light-addressable potentiometric sensor (LAPS) in this study. To confirm basic sensing performances, NbOx layer directly deposited on silicon substrate was prepared by reactive rf sputtering and following with post-deposition rapid thermal anneal (RTA) for electrolyte insulator semiconductor (EIS) structure...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.