Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Research on MEMS Resonators began over 50 years ago. In just the last 10 years, there has been a series of important technological developments, and (finally!) success at commercialization. The presentation will highlight some key milestones along this path, describe some of the critical technology steps, and outline some of the important non-technological events within SiTime - all of these factors...
In this paper, we report parametric drive of a MEMS rate integrating gyroscope for reduction of drifts induced by drive electronics. A Toroidal Ring Gyroscope (TRG) with 100k Q-factor at 1760 µm diameter was fabricated in epitaxial silicon encapsulation (EpiSeal) process. Device was operated in rate integrating mode using a FPGA based control system. In contrast to the conventional amplitude control...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.