Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Industry 4.0 can be said to be the current trend of automation and data exchange in manufacturing technologies. Originally, the term “Industrie 4.0” is from a project in the high-tech strategy of the German government, which hope to promote the computerization of manufacturing. Usually involves terms like cyber-physical systems, Internet of things, amd cloud computing. For now, Industry 4.0 becomes...
This paper applied a radial basis function network (RBFN) in coherent Fourier scatterometry (CFS) to reconstruct the linewidth of periodic line/space (L/S) patterns. The fast, nondestructive, and repeatable measurement capability of CFS enables its integration with intelligent lithography systems. Two steps to reconstruct the linewidth of the L/S patterns were performed in this paper. The first step...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.