Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
We developed a cantilever-arrayed blood pressure sensor array fabricated by (111) silicon bulk-micromachining for the noninvasive and continuous measurement of blood pressure. The blood pressure sensor measures the blood pressure based on the change in resistance of the piezoresistor on a 5-µm-thick-arrayed perforated membrane and 20-µm-thick metal pads. The length and width of the unit membrane are...
Electrostatically actuated MEMS emulsifying device with high flow rate has been proposed in this paper. In order to increase flow rate, electrostatic actuation across working fluid is adopted. Also large number of nozzle array is used for active droplet injection. Design of emulsifying device is optimized using FEM simulation for flow rate of 12.5 mL/min. The proposed device is fabricated and packaged...
The wafer level packaged contact force sensor is presented for applications that require fine pitch measurement. The suggested cantilever array type sensor has high spatial resolution of 210 ??m. To achieve reliable package, the sensor is capped by PDMS soft cap using wafer level molding and bonding process with 10 ??m alignment precision. The resistance change over contact force was measured to verify...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.