Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This work presents the technological basis for implementation of MEMS-based air-borne particulate counters capable of simultaneous mass measurement of individual particles. Self-sustained thermal-piezoresistive micromechanical oscillators with frequencies in the few MHz range have been used as high-precision microbalances eliminating the need for supporting analog circuitry. Mass sensitivity of the...
This work presents thermally actuated micro-electromechanical resonant sensors capable of measuring the mass of micro/nanoscale aerosol particles deposited on them. The resonators were specifically designed for maximum tolerance of air viscous damping and deposited particles and were fabricated using a single-mask fabrication process on SOI substrates. The fabricated resonators were placed in a custom-made...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.