Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This work reports on advanced stencil lithography using compliant membranes. Compliant membranes are mechanically decoupled from a rigid silicon frame by means of four non planar cantilevers. Compliant membranes are protruding parts which adapt to the surface independently in order to reduce the gap between a membrane and its substrate. FEM simulations show that compliant membranes can vertically...
We present the fabrication process and electrical characterization of sub-100 nm scale Al nanowires (NWs) fabricated by stencil lithography (SL). We use a stencil with sub- 100 nm wide nanoslits patterned by focused ion beam (FIB) milling. The stencil is aligned and clamped onto a substrate containing predefined electrical contacts. Then a 60 nm-thick layer of Aluminum (Al) is deposited through the...
We have fabricated new and robust nanostencil membranes for the surface patterning of 100-nm scale Al wires on full wafer scale. The stencil membranes are mechanically reinforced with corrugations, making them more stable against accumulated stress. The apertures in the stencil are fabricated by a combination of UV lithography and focused ion beam milling, ranging from sub-100 nm to several microns...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.