Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Multi-cluster tools are highly productive yet expensive wafer fabricating facility in semiconductor industry. Current competitive business trend requires high-mix and low-volume production of wafers. The size of a wafer lot is becoming smaller and wafer lots change more frequently. This brings up with many start-up and close-down processes. It is thus more and more important to control these transient...
It is very challenging to obtain a one-wafer cyclic schedule for the widely used multi-cluster tools in semiconductor manufacturing. This work studies the scheduling problem for a single-arm tree-like multi-cluster tool that is process-dominant. A resource-oriented Petri net (PN) model is developed to describe its operation behavior by explicitly modeling robot waiting. Based on it, sufficient and...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.