Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
A miniature tunable multi-blade iris diaphragm driven by microelectromechanical systems (MEMS) is developed. The diameter of the iris diaphragm aperture is experimentally demonstrated to be able to adjust continuously from 0.45 mm to 1.56 mm.
A novel microtribometer based on an in-plane rotational grating displacement sensing mechanism is developed, with which the adhesion force and the coefficients of kinetic friction on the sidewall of as-fabricated MEMS device have been successfully measured.
A novel microtribometer is developed to characterize microelectromechanical systems (MEMS) sidewall friction with high resolution. The design is based on a rotational grating displacement sensing mechanism, with which 1.2-nm sensing sensitivity can be achieved. Employing it, the adhesion force (1.85 ) and the coefficients of static (0.801) and kinetic (0.363) frictions on the sidewall...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.