Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
The present work deals with a pulsed microwave discharge in an Ar/CF4gas mixture under a low pressure (1–10 mbar). The discharge chamber developed has a cylindrical geometry with a coupling window alternatively made of quartz or alumina. The setup allows one to investigate the plasma–wall interactions (here etching of the quartz window) and the ignition process of the pulsed microwave plasma. Microwave pulses with a duration of 50–200 μs and repetition rate between 1 and 10 kHz are typical for the experiments. The space-time behavior of the fluorine number density in the discharge has been investigated experimentally by optical actinometry. The discharge kinetics is modeled using electron-transport parameters and rate coefficients derived from solutions of the Boltzmann equation. Together with the solution of the continuity and electron balance equations and the rate equations describing the production of CF...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.